コンパクトスパッタ

コンパクトスパッタ Compact Suputter
アルバック/ACS-4000
2インチの基板に金属などの薄膜を成長させる装置です。放電によりアルゴンイオンを膜材料ターゲットに衝突させ、飛散した材料粒子を成膜したい基板上に堆積させます。金属の他、カーボン、石英などを成膜でき、同時に3種類のターゲットを使用できます。Equipment for forming thin films of metal and other substances on a 2-inch substrate. The film material target is bombarded with argon ions produced by electric discharge, and the material particles accumulate on the substrate. Besides metals, carbon, quartz and other materials can be applied as films, and three types of target can be used at the same time.
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