About Us‎ > ‎Facilities for the partners‎ > ‎試作‎ > ‎

3Dプリンター

共用装置 Equipment

ナノサーチ顕微鏡(微細表面構造計測顕微鏡)





ナノサーチ顕微鏡(微細表面構造計測顕微鏡)

装置の特徴

広い視野をもつ光学顕微鏡と、レーザー顕微鏡(LSM)およびプローブ顕微鏡(SPM)を一体化させることにより、試料を同じ光軸上で数百倍から百万倍以上に拡大させ、見たいところを見失うことなく、ミリからナノの世界を自由に行き来して効率的に観察・測定することができます。

測定画面例

仕様

レーザー顕微鏡(LSM)部
光源:半導体レーザー(408±5nm)、0.9mW
検鏡方法:非共焦点レーザー、共焦点レーザー、レーザー微分干渉、明視野、暗視野
観察視野:2560μm~21μm
プローブ顕微鏡(SPM)部
光源:半導体レーザー(650nm)
変位検出系:光てこ式
最大走査範囲:XY方向30μm、Z方向4μm
サンプル
高さ上限:54.5mm、重量上限:10kg

料金

学外利用者
2,504円/時間
装置担当者による支援
受託測定:粗さ、段差計測等

連絡先:東北発 素材技術先導プロジェクト 超低摩擦技術領域
担当:笹森 TEL:022-795-4909


Comments