集束イオンビーム加工観察装置 FIB

集束イオンビーム加工観察装置
Focused Ion Beam System FB2200
日立ハイテク/FB2200
イオンビームによりサンプルの微細加工・観察を行います。高速かつ大面積加
工が可能で、2048×2048ピクセル以下のBMPを読み込んでの加工やマイクロサンプリングができます。像分解能は6nm以下、倍率は60~300,000倍、最大加工観察範囲:30×30mm。
This equipment is for micromachining and observing samples with an ion beam. It enables high-speed large area manufacturing, and can perform processing and micro sampling by reading a bitmap of 2,048 × 2,048 pixels or less.Image resolution is 6 nm or less, magnification is 60 to 300,000 times, and maximum processing and observation range is 30 × 30 mm.
Comments